真空熱處理爐是真空熱處理即真空技術(shù)與熱處理兩個專業(yè)相結(jié)合的綜合技術(shù)，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的。

　　我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數(shù)真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。

　　真空熱處理幾乎可實現(xiàn)全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現(xiàn)氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釬焊、燒結(jié)、表面處理等。

　　真空熱處理爐熱效率高，可實現(xiàn)快速升溫和降溫，可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。